2017年6月7日-9日，负责MEMS领域国际标准制修订工作的国际标准化组织IEC/TC47/SC47F工作组会议在日本东京举行，我中心作为国内负责该领域标准化工作的全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）秘书处承担单位，派员出席了会议。

会前，我国代表团精心准备，专门召开专家研讨会，对我国主导提出的3项国际标准草案及有关意见进行了研究和梳理。会上，我国专家就3项标准涉及的32条意见进行了逐一答复，对重要意见进行了细致说明。经过会议表决，3项国际标准顺利进入CD阶段。

此3项国际标准草案，是继2016年8月主导制定的第一项MEMS领域国际标准发布之后，我国在MEMS国际标准化工作中取得的新突破，其中2项国际标准草案是在相关国家标准制定过程中即转化为英文标准并成功在国际立项。该3项国际标准顺利推进到CD阶段，标志着我国MEMS标准化领域已经成功走出了一条“国家标准、国际标准同步推进”的标准化工作路线，对于进一步发挥技术标准对MEMS的引领作用，推动我国技术和标准“走出去”具有非常重要的意义。

全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）成立于2008年，目前归口管理国家标准19项，主导制定国际标准4项。后期，标委会及秘书处承担单位将加大投入，积极配合、组织行业有关单位和专家，在做好国家标准的基础上，争取推动更多我国优势技术和标准制定为国际标准。

3项CD阶段MEMS领域国际标准草案如下：

Future IEC 62047-33: Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 33: MEMS piezoresistive pressure-sensitive device

Future IEC 62047-32: Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 32: Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonators

Future IEC 62047-32: Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 34: Test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device on wafer